手持光谱仪是一种根据XRF光谱剖析技能的光谱剖析仪器，当能量高于原子内层电子结合能的高能X射线与原子发生磕碰时，驱赶一个内层电子然后呈现一个空穴，使整个原子系统处于不稳定的状况，当较外层的电子跃迁到空穴时，发生一次光电子，击出的光子或许再次被吸收而逐出较外层的另一个次级光电子，发生效应，亦称次级光电效应或无辐射效应。所逐出的次级光电子称为俄歇电子。当较外层的电子跃入内层空穴所开释的能量不被原子内吸收，而是以光子方式放出，便发生X射线荧光，其能量等于两能级之间的能量差。

  光谱仪弥补了传统X射线荧光技能没办法进行碳元素剖析的缺乏，能够有用进行例如碳钢商标断定和元素含量剖析，以及差异以碳元素作为差异元素的资料。设备装备高容量锤电池以及微型移动式氝气钢瓶，便千在狭隘拥堵的空间及各类出产现场运用。能够有用进扫列如碳钢商标断定和元素含量剖析，以及差异以碳元素作为差异元素的资料。